1、真空閥：真空系統(tǒng)核心零部件，英國VAT主導(dǎo)市場

1.1、真空閥：真空系統(tǒng)核心零部件，主要起隔離/控制/傳輸作用

真空的淺顯定義指的是空間中的壓力高于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力時的狀態(tài)。真空閥指的是用在真空系統(tǒng)中的球閥，其作用一般為隔離真空區(qū)域（如工藝腔室）或控制氫氣進出量。因為真空環(huán)境基本貫串砷化鎵制造過程一直，所以真空閥在砷化鎵設(shè)備中還有著普遍而廣泛的應(yīng)用。真空閥和普通球閥在類別上沒有本質(zhì)差別，按作用界定主要有隔離閥、控制閥（調(diào)節(jié)閥）、傳輸閥、泄壓閥/進氣閥、氣體計量閥、止回閥等，在砷化鎵設(shè)備的真空系統(tǒng)中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應(yīng)用較差；其中，隔離閥和控制閥根據(jù)工作模式又包括閥門、角閥、蝶閥、球閥、擺閥等。

詳細來看，隔離閥起隔絕/撥通作用，如可適于連結(jié)真空泵，在其運作與否時起到嚴(yán)禁/容許二氧化碳踏入真空泵系統(tǒng)的作用；控制閥主要起到控制氫氣流量和壓力的作用；傳輸閥則可適于晶片在腔體之間或腔體和LoadLock之間的傳輸。

從實際應(yīng)用來看，隔離閥選用最多的主要為角閥和閥門。閥門的啟閉件為閥座，閥座運動方向與介質(zhì)流動方向平行，通過閥座的升降可以起到隔絕/撥通作用，一般只作全開/全閉狀態(tài)，是隔離閥的理想選擇，而較少用作控制作用。閥門可適于腔體和真空泵之間。

角閥的二氧化碳通路一般呈直角，主要可適于真空系統(tǒng)中的進氣管道和抽氣系統(tǒng)等的連結(jié)，如適于主泵（一般為分子泵）和單端泵（一般為干泵）之間（即單端管道）或腔體和單端泵之間（即粗抽或預(yù)真空管道）。角閥常作為隔離閥，尤其適用于嚴(yán)格的環(huán)境下，并具備強悍的靠譜性，也可具有控制作用。

控制閥用在真空腔體和分子泵之間，起到調(diào)節(jié)流量和壓力的作用。控制閥選用最多的主要為擺閥（鐘擺閥），而聯(lián)軸器等也可以起到控制作用。擺閥的啟閉件通過如鐘擺般的旋轉(zhuǎn)運動來實現(xiàn)隔離和控制作用，具備設(shè)計緊湊、振動小、啟閉平緩、能有效防止形成顆粒的特性，被廣泛用作控制閥。

閥門的閥瓣呈圓盤形，緊扣其中軸旋轉(zhuǎn)，旋角大小便是閥體的開閉度，既可作為隔離閥，提供與閥門同樣靠譜的真空隔離的同時對占用空間要求較低，適用于緊湊空間的隔離；又可作為控制閥，實現(xiàn)迅速準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)。

據(jù)悉，閥門的啟閉件是帶有方形通道的立方體，繞平行于通道的軸線旋轉(zhuǎn)，圓球隨襯套搖動因而達到啟閉通道的目的。閥門適用的壓力范圍廣，從高真空到低真空等均可使用，同時在帶有磨蝕性介質(zhì)的或則低溫的系統(tǒng)中也均可適用。

傳輸閥是適于連結(jié)真空腔室的長圓形截面的球閥，可將質(zhì)點（如晶片）從一個腔室傳送到另一個腔室，尤其是在傳輸腔和工藝腔之間還要用到，所以傳輸閥是多腔室系統(tǒng)的理想選擇。

1.2、真空閥要求嚴(yán)格，西班牙VAT主導(dǎo)市場

真空系統(tǒng)包括各類不同的零部件，如腔體、泵、閥等等，基本都有著嚴(yán)格的參數(shù)指標(biāo)要求和較高的研制生產(chǎn)難度，僅在材料選擇上便須要結(jié)合應(yīng)用、環(huán)境條件及要實現(xiàn)的真空度而考慮眾多誘因。且還須要進行復(fù)雜而精密的沖壓、表面處理、清潔等工藝，都須要行業(yè)中較長時間的積累。

而詳細到真空閥產(chǎn)品來看，優(yōu)異的密封性、精確的流量控制、最小的顆粒形成、最小的震動和沖擊、穩(wěn)定性和可重復(fù)性等也都是至關(guān)重要的特征，尤其是在半導(dǎo)體制造這些對于工藝環(huán)境的含量、化學(xué)和化學(xué)穩(wěn)定性有極高要求的領(lǐng)域，其要求會比標(biāo)準(zhǔn)真空閥更高。

據(jù)英國VAT公司整理，2021年VAT公司占全球砷化鎵真空閥的份額約75%，假設(shè)2022年其市占率保持穩(wěn)定，結(jié)合公司2022年砷化鎵真空閥7.165億丹麥克朗（按1.05匯率假定約為7.5億港元），則全球砷化鎵真空閥市場規(guī)模約10億港元；類似地，可推算出全球泛砷化鎵真空閥市場規(guī)模約12.7億港元。真空閥市場格局集中，不僅德國VAT居于主導(dǎo)地位以外，MKS公司（中國）、VTEX（臺灣）、CKD（臺灣）、SMC（臺灣）、Ulvac（臺灣）等廠家也都居于一定的市場份額。

1.3、國際龍頭梳理

1.3.1、瑞士VAT公司

英國VAT作為全球真空閥龍頭，2022年實現(xiàn)收入11.45億丹麥克朗，其中球閥產(chǎn)品收入9.33億丹麥克朗，服務(wù)收入2.13億丹麥克朗。球閥產(chǎn)品收入逐步界定，則砷化鎵為最大下游應(yīng)用，收入為7.17億丹麥克朗，其余則為先進工業(yè)、顯示&太陽能應(yīng)用。

VAT公司擁有全面的隔離閥、控制閥、傳輸閥、快速關(guān)掉閥等產(chǎn)品組合，可為各種應(yīng)用領(lǐng)域提供最佳解決方案，其真空閥門、角閥、蝶閥、擺閥等產(chǎn)品為各領(lǐng)域的真空閥解決方案設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。公司在隔離閥、控制閥、傳輸閥都有較高的行業(yè)地位，尤其是控制閥和傳輸閥領(lǐng)域居于行業(yè)領(lǐng)先份額。

2、流體系統(tǒng)管件：流體系統(tǒng)核心器件，美廠居于重要地位

2.1、半導(dǎo)體工藝設(shè)備供水和氣路系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵器件

除在真空系統(tǒng)中大量應(yīng)用外，球閥同樣是砷化鎵行業(yè)高純流體系統(tǒng)中核心的系統(tǒng)器件，主要起著流體的繼電器截至、流體的流量調(diào)節(jié)、流體的流向改變等三大作用。在砷化鎵制造工藝設(shè)備內(nèi)部的二氧化碳管道系統(tǒng)中和砷化鎵工藝設(shè)備的供水系統(tǒng)中，均須要大量的高純球閥參與控制。其中，供水系統(tǒng)指的是電子二氧化碳由氣源運抵工藝設(shè)備端的系統(tǒng)，詳細來看，電子二氧化碳先由塔架（Gas）下來經(jīng)過分配，于是通過多功能閥箱/閥盤（ValveBoxes/）及二次配閥盤（），駛向工藝設(shè)備端，在這個過程中的幾個主要環(huán)節(jié)基本都須要用到管件產(chǎn)品。

在這兒面，泵房（Gas）為特氣源提供壓力控制和流量檢測、并具有更換氣瓶能力，多功能閥箱則是將特氣分配到不同工藝設(shè)備的裝置，均需用到隔膜閥、單向閥、調(diào)壓閥等管件。之外，F(xiàn)ab廠中的大宗硫化氫系統(tǒng)（BulkGas）、二次配閥盤/盒等也均用到管件。

而氫氣經(jīng)過閥箱/閥盤后，則通過工藝設(shè)備端內(nèi)的氣路系統(tǒng)通入工藝腔內(nèi)，之后參與各類晶片工藝反應(yīng)。詳細來看，砷化鎵工藝設(shè)備內(nèi)部的氣路系統(tǒng)主要由GasBox、GasBox至反應(yīng)腔的氣路，以及最終步入反應(yīng)腔之前的閥體構(gòu)成，這一氣路系統(tǒng)內(nèi)同樣會用到高純管件產(chǎn)品。在這兒面，GasBox作為砷化鎵設(shè)備內(nèi)的核心組成部份之一，其功能是將各路工藝二氧化碳集成在一個空間環(huán)境內(nèi)，并按工藝需求對不同氫氣進行傳輸、分配和混和，對某些關(guān)鍵工藝氫氣進行準(zhǔn)確的流量控制，按照工藝不同方法的設(shè)定實現(xiàn)對工藝氫氣進行繼電器控制等功能。為此，GasBox的功能決定了其內(nèi)部集成了蝶閥，包括隔膜閥、單向閥等。

詳細產(chǎn)品來看，流體系統(tǒng)中常用的閥體主要有：隔膜閥，是用橡膠、PTFE等軟質(zhì)材料制成的隔膜作為啟閉件，把閥門螺孔和閥蓋型腔隔開的管件，通過操作機構(gòu)控制隔膜的聯(lián)通便可以達到隔絕和調(diào)節(jié)作用。隔膜閥的特點在于，閥蓋、閥桿等零件與介質(zhì)通路隔開，所以零件不會遭到介質(zhì)侵蝕和沖擊，且不會發(fā)生介質(zhì)內(nèi)漏；同時，隔膜閥結(jié)構(gòu)簡略，便于修理和更換；且隔膜和閥門均可以選用不同材料，能理想控制多種工作介質(zhì)，尤其適于帶物理磨蝕性或漂浮顆粒的介質(zhì)。

調(diào)壓閥（）可以把從氣瓶等來源排出的二氧化碳或液體的壓力增加到設(shè)備所需的較低值。調(diào)壓閥有一個傳感器器件（如活塞或隔膜），兩側(cè)承受由彈簧或氣壓施加的力，另兩邊承受流體系統(tǒng)承受的力。其中，減壓調(diào)壓閥通過搖動襯套/搖桿，對可調(diào)彈簧進行調(diào)整來設(shè)定所需的出口壓力；背壓調(diào)壓閥則可設(shè)定所需的進口壓力。

雙向閥，亦即閥門，是一種使流體保持恒定方向流動并避免逆向流動的球閥。流體正向流動時，雙向閥的閥瓣被流體壓力推開，但逆向流動時閥瓣在背壓的作用下與噴嘴密切接觸以避免回流。

波紋管閥，是以波紋管作為導(dǎo)輪密封器件的球閥，波紋管和輪緣焊在一起，隨閥桿而推動閥頭升降，起到啟閉作用。選用波紋管密封結(jié)構(gòu)后，可以將介質(zhì)和大氣隔離開來，所以有著出眾的密封性，可防止介質(zhì)從閥體處泄漏。但是，隨著晶體管的不斷縮微，制造過程中防止遭到污染變得至關(guān)重要，流機制統(tǒng)器件漸漸從波紋管閥向結(jié)構(gòu)更簡略、活動部件更少、零件與介質(zhì)隔開的隔膜閥發(fā)展，但波紋管閥借助極佳的密封性也仍有用武之地。

2.2、流體系統(tǒng)管件要求更顯嚴(yán)格，中國廠家居于重要地位

流體系統(tǒng)對管件有著極為嚴(yán)格的要求，包括凈化度要求高、材質(zhì)含量要求高、應(yīng)對浸蝕和迅速吹掃無殘留要求高、流體控制精度要求高等。例如，因為砷化鎵工藝設(shè)備還要大量工藝二氧化碳參與反應(yīng)，其中硫酸氫、三氟化硼、溴化氫等均具備強磨蝕性，管道和管件很容易磨蝕并因而造成泄漏等狀況，因而對材料的選擇和其表面電物理的處理都有嚴(yán)苛要求。

再例如，GasBox作為氣路系統(tǒng)的核心部件之一，內(nèi)部包含各類介質(zhì)的控制氣路，其內(nèi)工藝二氧化碳的響應(yīng)時間、流量控制對工藝都起到至關(guān)重要的作用，所以內(nèi)部需要牢靠穩(wěn)定的流體系統(tǒng)器件，高純球閥還要滿足容積緊湊、滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn)的泄露率和凈化度要求等，部份應(yīng)用下還須要本事環(huán)境低溫。且，制程演化帶給的變化是須要使用更多新材料、特殊二氧化碳，對GasBox提出了大型化（規(guī)格不變狀況下具有更多氣路）、靈活性（二氧化碳管道進出口位置有更多選擇）的要求，這其中也離不開對球閥的更高要求。

再例如，ALD（Layer，原子層沉積）作為當(dāng)下及未來制程節(jié)點縮微及復(fù)雜元件幾何形狀上沉積薄層材料的關(guān)鍵技術(shù)，對流機制統(tǒng)器件也提出了新的挑戰(zhàn)。部份龍頭廠家如并且專門推出了ALD球閥系列，以規(guī)避ALD對壽命、耐低溫等方面的要求。且隨著越來越多的Highk材料的引進，ALD工藝還要系統(tǒng)更低的壓力，更高的氣溫，未來還要更大的流量（比如球閥CV要求普遍在現(xiàn)在流量的2-3倍），也會還要高純特殊合金材料來應(yīng)適于閥門。

細分市場規(guī)模方面，據(jù)LP統(tǒng)計，2022年全球砷化鎵球閥（含真空閥，但不含調(diào)壓閥）市場規(guī)模約20.9億港元，其中隔膜閥市場占比較大，規(guī)模約5.2億港元，而如前所述各種真空閥市場規(guī)模約10億港元，其余則為雙向閥等產(chǎn)品。若在加上流體系統(tǒng)中應(yīng)用較差的調(diào)壓閥的市場，則全球砷化鎵閥（含調(diào)壓閥）會比20.9億港元要再高出不少。而在行業(yè)的主要參與者方面，不僅VAT、MKS等廠家在真空閥市占率較高外，（日本）、（英國）、（英國）等廠家在流體系統(tǒng)中的隔膜閥、調(diào)壓閥等產(chǎn)品有著較高的市場地位。

2.3、全球龍頭廠家梳理

2.3.1、

日本（世偉洛克）公司創(chuàng)立于1947年，現(xiàn)在是一家年銷售額約20億美元的私營企業(yè)，旨在于為油氣、化工、半導(dǎo)體、清潔能源等各個行業(yè)提供流機制統(tǒng)產(chǎn)品、組裝和服務(wù)。公司提供止回閥、調(diào)壓閥、接頭、軟管、卡套管及卡套管附件、壓力表和其他檢測裝置、過濾器、焊接系統(tǒng)、檢漏液、潤滑劑、密封劑、快速接頭、機械密封支持系統(tǒng)、取樣系統(tǒng)、分析子系統(tǒng)以及微型模塊化系統(tǒng)等產(chǎn)品。

針對砷化鎵行業(yè)，可提供球閥、調(diào)壓閥、接頭、軟管和柔性卡套管、過濾膜、焊接系統(tǒng)、彎管器等產(chǎn)品和服務(wù)。尤其是在砷化鎵制造所需的超高純（UHP）管件方面，具有多種規(guī)格的隔膜閥、波紋管密封閥、單向閥、調(diào)壓閥、ALD閥等產(chǎn)品，為砷化鎵流體系統(tǒng)提供全面高品質(zhì)的解決方案，是半導(dǎo)體流體系統(tǒng)管件的全球領(lǐng)先供應(yīng)商之一。

2.3.2、

新加坡（富士金）公司創(chuàng)立于1930年，在以管件為核心的超精密流體控制系統(tǒng)方面處于行業(yè)領(lǐng)先地位，囊括砷化鎵、太空開發(fā)、氫能運用、制藥和乳品、鋰電池等多個領(lǐng)域。公司截止2022年3月31日的財年收入約為1707億美元（約合人民幣80+萬元）。

在砷化鎵領(lǐng)域，可提供的產(chǎn)品主要包括：球閥產(chǎn)品，如隔膜閥、單向閥、波紋管閥等各類球閥；接頭產(chǎn)品；流體系統(tǒng)，包括IGS（Gas，集成二氧化碳系統(tǒng)）、FCS（Flow，流量控制系統(tǒng)）等。

3、國產(chǎn)取代迫切性顯現(xiàn)，優(yōu)質(zhì)廠家有望突破放量

3.1、國產(chǎn)設(shè)備廠家成長空間很大可調(diào)式減壓閥組，零部件國產(chǎn)取代正當(dāng)初

儲存廠短期擴產(chǎn)部份受限，中常年產(chǎn)能提高空間很大。中國在2022年10月發(fā)布了對我國砷化鎵產(chǎn)業(yè)的逐步制裁，其中重點新增限制了儲存先進制程的制造能力。黃河儲存和長鑫儲存是國外在儲存芯片3DNAND、DRAM領(lǐng)域各自的代表廠家，經(jīng)過多年的技術(shù)積累后，黃河儲存早已實現(xiàn)232L3DNAND工藝的量產(chǎn)，長鑫儲存早已實現(xiàn)19nmDRAM工藝的量產(chǎn)，其中，尤其主要是黃河儲存在被限制后短期擴產(chǎn)確實遭到一定影響。但國外儲存廠家產(chǎn)能在全球占比仍然極小，和國外市場需求嚴(yán)重不匹配，中常年來看產(chǎn)能提高空間非常很大。

邏輯先進制程擴產(chǎn)受限，成熟制程擴產(chǎn)確定性仍然較強。中芯國際自2020年被法國加入實體清單后，戰(zhàn)略方向漸趨向成熟制程擴產(chǎn)傾斜，本次限制節(jié)點對其并無逐步影響。中芯國際2021年以來先后公布公告將分別在上海、深圳、上海、天津加強投資進行成熟制程擴產(chǎn)，且2022年業(yè)績說明會上重申了擴產(chǎn)的意志和決心，對2023年資本支出也給出了和2022年高基數(shù)相當(dāng)?shù)闹敢?，所以預(yù)計中芯國際未來2-3年擴產(chǎn)節(jié)奏和資本支出仍然會較為豁達。

自主可控持續(xù)推動，國產(chǎn)化比列有望迅速增強。中國不斷加深對國外砷化鎵產(chǎn)業(yè)的限制，并收買澳洲和新西蘭也跟進限制可調(diào)式減壓閥組，但從現(xiàn)在限制的實際范圍和力度來看不必過度消極。以尤為關(guān)鍵的光刻機環(huán)節(jié)為例，據(jù)ASML官網(wǎng)發(fā)布，在詳細條例出臺之前，公司自己將要遭到出口管制的“最先進工具”定義為NXT：2000i及后來的浸入式光刻機，而不被限制的1980Di早已可以滿足邏輯成熟制程和3DNAND先進制程需求。并且，限制的不斷加深逐步顯現(xiàn)了自主可控的重要性和迫切性，國外晶片廠存儲廠近些年在擴產(chǎn)過程中正逐步提高產(chǎn)線中設(shè)備的國產(chǎn)化比列，預(yù)計未來會逐步較快增強。為此，國產(chǎn)設(shè)備廠家國產(chǎn)化空間仍然較大，在國產(chǎn)化加快下仍有望保持較快下降。

2021年全球千億美金的砷化鎵設(shè)備市場中，美國臺灣地區(qū)市場規(guī)模約為296億美元，但其中有較差來自于內(nèi)資企業(yè)。我們預(yù)計，隨著臺灣本土晶片廠持續(xù)迅速擴產(chǎn)，以及內(nèi)資晶片廠因為各類誘因引起在臺灣擴產(chǎn)投資趨向萎縮，中常年來看大陸地區(qū)的設(shè)備市場規(guī)模將主要由本土晶片廠采購產(chǎn)生，且自主可控大勢所趨下設(shè)備整體國產(chǎn)化率有望達到明顯較高級別，對應(yīng)設(shè)備國產(chǎn)化空間很大。

更為重要的是，國外設(shè)備廠家在迅速成長的同時，也在積極尋找上游供應(yīng)鏈的自主可控，零部件國產(chǎn)取代浪潮已經(jīng)掀起?，F(xiàn)在砷化鎵零部件供應(yīng)格局以境外廠家為主，國外自給率較低，既因產(chǎn)業(yè)壁壘高、市場碎片化，也由于國外下游砷化鎵設(shè)備產(chǎn)業(yè)不發(fā)達，國外零部件廠家缺少技術(shù)基礎(chǔ)、發(fā)展性價比不高。

3.2、半導(dǎo)體管件國產(chǎn)取代方興未艾，尤其流體球閥國產(chǎn)化空間極大

當(dāng)前趨勢下中國不斷加強對我國砷化鎵產(chǎn)業(yè)的限制，尤其是砷化鎵設(shè)備進口遭到顯著影響，而作為砷化鎵設(shè)備上游的零部件環(huán)節(jié)，其供應(yīng)穩(wěn)定性也在逐步面臨越來越大的風(fēng)險，所以設(shè)備廠家對于零部件自主可控的迫切性也逐漸顯露。而從當(dāng)前的國產(chǎn)化狀況來看，現(xiàn)在國外晶片廠產(chǎn)線中砷化鎵管件的采購仍較大程度上依賴于境外廠家。詳細來看，真空閥市場主要由法國VAT主導(dǎo)，流體閥主要由中國、美國、日本等廠家主導(dǎo)，相對來說流體閥要求更為嚴(yán)格、且美廠主導(dǎo)格局下國產(chǎn)取代迫切性尤為顯著。而國外已有廠家具有良好國產(chǎn)取代基礎(chǔ)，如新萊應(yīng)材已在閥門等多種真空閥產(chǎn)品對國外主流顧客實現(xiàn)國產(chǎn)化供應(yīng)，在隔膜閥等二氧化碳閥也已實現(xiàn)銷售突破并迎來迅速放量。

3.3、優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)廠家梳理

3.3.1、新萊應(yīng)材

新萊應(yīng)材于1991年創(chuàng)立于美國大陸，于2000年總部遷至蘇州，2011年深交所上市。公司最初主營業(yè)務(wù)為應(yīng)適于乳品、生物醫(yī)藥、泛砷化鎵領(lǐng)域的凈化應(yīng)用材料和高純及超高純應(yīng)用材料業(yè)務(wù)，其后通過外延并購形式拓展了應(yīng)適于乳品啤酒領(lǐng)域的無菌包材及灌裝機業(yè)務(wù)。

公司業(yè)務(wù)按下游可以界定為三個主要領(lǐng)域：泛砷化鎵領(lǐng)域，產(chǎn)品為高純及超高純應(yīng)用材料，主要包括真空系統(tǒng)（高/超高真空的法蘭、管件、閥、腔體等）和硫化氫系統(tǒng)（超高純管線閥門、閥等）；生物醫(yī)藥領(lǐng)域，產(chǎn)品包含管道系統(tǒng)、無菌止回閥、無菌泵、管式換熱、過濾器等；乳品安全領(lǐng)域，產(chǎn)品分為無菌包材、無菌紙板灌裝機、潔凈材料（如管道系統(tǒng)、衛(wèi)生級球閥、衛(wèi)生級泵）等。

現(xiàn)在公司下游應(yīng)用中食品類占比最高，高達50.5%，其中無菌包材和乳品設(shè)備分別占38.7%和6.3%，其余產(chǎn)品則主要為凈化應(yīng)用材料；而醫(yī)藥類（產(chǎn)品主要為凈化應(yīng)用材料）占比23.6%；泛砷化鎵業(yè)務(wù)（產(chǎn)品為高純及超高純應(yīng)用材料）占比25.9%。

新萊應(yīng)材在砷化鎵領(lǐng)域的業(yè)務(wù)主要包括真空產(chǎn)品（真空法蘭、管件、閥、腔體等）和二氧化碳產(chǎn)品（管線閥門、接頭、閥等），詳細來看：公司真空系列的品牌名為“”，產(chǎn)品主要包括高真空和超高真空的法蘭、管件、鋼瓶、傳輸閥、鋁合金閥門、閘閥、角閥、腔體、加熱帶、視窗、無氧銅銷子等。公司產(chǎn)品采用優(yōu)質(zhì)碳鋼材料，可適于砷化鎵、顯示、LED、薄膜太陽能電板、氫能源、鋰電、科研機構(gòu)等領(lǐng)域，主要應(yīng)適于薄膜技術(shù)（蒸發(fā)、濺射、PECVD、MOCVD、ALD等），并覆蓋表面剖析技術(shù)和離子注入系統(tǒng)。

而在氫氣產(chǎn)品，公司“”品牌產(chǎn)品主要包括超高純管線＆閥門、面密封接頭（VCR）、微型管線、卡套接頭、減壓閥、超高純隔膜閥、卸荷閥、微粒過濾膜、止回閥、針閥、球閥等，并在積極拓展新產(chǎn)品。

砷化鎵真空系統(tǒng)和二氧化碳系統(tǒng)均是國產(chǎn)化率較低、競爭格局較差的細分行業(yè)，新萊應(yīng)材作為國外在兩個行業(yè)都處于領(lǐng)先地位的優(yōu)質(zhì)廠家，在行業(yè)有著多年的積累和經(jīng)驗，產(chǎn)品品類齊備，顧客方面更是和AMAT、Lam、北方華創(chuàng)等海內(nèi)外設(shè)備龍頭以及黃河儲存、長鑫儲存等海內(nèi)外著名fab廠都有多年的良好合作關(guān)系。公司在真空閥領(lǐng)域已實現(xiàn)較差的國產(chǎn)代替基礎(chǔ)，而對部份二氧化碳閥等產(chǎn)品的供應(yīng)屬國外稀缺，，預(yù)計將是細分領(lǐng)域國產(chǎn)取代的排頭兵，未來成長空間很大。之外，新萊應(yīng)材還積極拓展開發(fā)新產(chǎn)品，在真空系統(tǒng)方面開拓真空泵產(chǎn)品，在氣機制統(tǒng)方面開發(fā)MFC、過濾器等產(chǎn)品，建立公司業(yè)務(wù)布局，可為下游顧客提供更為全面完整的服務(wù)，有望提高公司競爭力，并逐步打開公司成長房頂，成為公司未來新的下降驅(qū)動點。

3.3.2、晶盛電氣

晶盛電氣主營業(yè)務(wù)產(chǎn)品為應(yīng)適于光伏和砷化鎵集成電路產(chǎn)業(yè)上游晶體生長及加工設(shè)備，并基于多年來對硬脆晶體材料生長及加工技術(shù)和工藝的理解，延展布局至藍大寶石材料、碳化硅材料以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈核心的主材耗材，如石英坩堝、金剛線、精密零部件等領(lǐng)域。公司業(yè)務(wù)牽涉砷化鎵、光伏設(shè)備領(lǐng)域以及砷化鎵材料細分領(lǐng)域的藍大寶石材料和氧化鋁材料等。精密零部件領(lǐng)域，晶盛電氣確立了以砷化鎵止回閥、管件、磁流體等精密零部件產(chǎn)品機制，以配套砷化鎵和光伏設(shè)備所需關(guān)鍵零部件及需求，保障供應(yīng)鏈的穩(wěn)定和安全。其中在閥體產(chǎn)品方面，晶盛機電子公司與美國合作，于2022年4月實現(xiàn)首批隔膜閥產(chǎn)品的認證通過及量產(chǎn)，顧客包括中芯集成、七星流量計、AMAT、TEL等。

3.3.3、九天真空

九天真空創(chuàng)立于2002年，是國家高新技術(shù)企業(yè)，美國真空行業(yè)重點企業(yè)。公司主要業(yè)務(wù)以真空閥、薄膜規(guī)、真空部件、真空系統(tǒng)集成為主的四大核心業(yè)務(wù)，自主研制真空系列產(chǎn)品數(shù)千余種，是國外產(chǎn)品線齊備的真空技術(shù)企業(yè)。九天真空的產(chǎn)品廣泛應(yīng)適于科研院所、半導(dǎo)體、電子通信、新材料、新能源、人工智能、生物醫(yī)療等各國家戰(zhàn)略性支柱行業(yè)，累計服務(wù)顧客上萬家。九天真空承當(dāng)了科技部、工信部、發(fā)改委重大扶植項目5個，承當(dāng)國家集成電路02重大專項3個，其中包括“高真空變通導(dǎo)搖動插板閥”等項目。在真空閥產(chǎn)品方面，九天真空可提供插板閥（止回閥）、翻板閥（止回閥）、調(diào)節(jié)閥、擋板閥（角閥）、充氣閥等產(chǎn)品。

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