減壓閥是一種調(diào)節(jié)、穩(wěn)定管線壓力的閘閥，在砷化鎵等行業(yè)應(yīng)用廣泛。其關(guān)鍵參數(shù)供應(yīng)壓力效應(yīng)SPE，定義為因?yàn)槿肟诨蚬?yīng)壓力的變化而造成的出口壓力變化。

減壓閥

內(nèi)部結(jié)構(gòu)

還要設(shè)置彈簧壓縮，讓閥座擋住襯套向上聯(lián)通，氣閥脫離噴嘴減壓閥，沒有密封，流體能夠流出。

結(jié)構(gòu)簡圖

襯套的橫截面積小于噴嘴，當(dāng)入口壓力增加時，提高襯套的力降低，氣閥避開噴嘴，CV值減?。鞯澜孛娣e變大），出口速率增大，按照伯努利多項(xiàng)式，可知出口壓力減小。出口壓力上升，會提高隔膜，但不足以抵消隔膜的變型（即把隔膜向下推到之前的位置，以保證出口壓力不變），最終會實(shí)現(xiàn)新的平衡。

增強(qiáng)襯套聯(lián)通

也就是說，假如入口壓力增加，則出口壓力會相應(yīng)提高（反之亦然）。

例子說明：入口壓力80bar，出口壓力3bar；

入口壓力增加為70bar，出口壓力減小為3.3bar。

管道聯(lián)接

由上可知減壓閥，前后端壓力波動會造成閥座和調(diào)節(jié)彈簧的相應(yīng)動作來經(jīng)常的手動修正，襯套和噴嘴會經(jīng)常磨擦銹蝕，容易形成顆粒，所以通常在調(diào)壓閥上面會連結(jié)過濾器。

為了減少入口壓力變化對出口壓力的影響，可以使用具備平衡提高襯套設(shè)計(jì)的減壓閥。當(dāng)入口壓力增加時，出口壓力下降，因?yàn)槌隹诹黧w會流入襯套內(nèi)部通道，對銷子形成向下的推力，以填補(bǔ)入口壓力增加對銷子增強(qiáng)力的損失，因而起到穩(wěn)定襯套位置、穩(wěn)定出口壓力的作用。

增強(qiáng)襯套內(nèi)部開流道

增強(qiáng)軸套可自調(diào)節(jié)的減壓閥出口壓力穩(wěn)定性是普通減壓閥的1-15倍。

若果單級減壓閥的調(diào)壓能力不足，可以使用兩級減壓閥。

單級和兩級減壓閥

兩級減壓閥減壓公式

功放減壓閥的輸出為后級減壓閥的鍵入。

內(nèi)部流體流向

通常會在氣源出口設(shè)置一個單級減壓閥，每條二氧化碳大道上再設(shè)置一個單級或兩級減壓閥。要防止在氣源上面使用兩級減壓閥，由于這只會徒增費(fèi)用。

減壓閥在氣路上的使用

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